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PicoFemto透射電子顯微鏡樣品桿預抽存儲系統

日期:2020-05-11

透射電子顯微鏡樣品桿預抽存儲系統



        透射電子顯微鏡樣品桿預抽存儲系統(T-staion)由內置進口分子泵組、樣品桿預抽室及觸摸顯示屏組成。適用于各品牌透射電鏡樣品桿,保證樣品桿長期處于高真空狀態,減少進樣預抽時間??缮壍入x子清洗功能,實現對樣品桿或MEMS芯片的清洗。
 

性能指標

  • 兼容各廠家樣品桿 

  • 分子泵組:ISO/CF63 84L/sec

  • 極限真空:5 X10-5 Pa

  • 插桿位:4個桿位,可獨立放氣。

  • 觸摸屏:實施顯示預抽室真空度,一鍵開關。

  • 可升級等離子清洗功能(需提前預留接口)

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作者:管理員


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