校正掃描電鏡（SEM）的光束偏移方法

掃描電鏡（SEM）光束偏移會(huì)導(dǎo)致成像不清晰、分辨率下降、甚至樣品漂移。光束偏移通常由電磁透鏡誤差、充電效應(yīng)、電子束漂移等因素引起，以下是有效的校正方法：

1. 電子束調(diào)整

(1) 調(diào)整槍偏壓與燈絲

檢查電子槍電壓：不穩(wěn)定的高壓會(huì)導(dǎo)致電子束偏移 

優(yōu)化燈絲飽和狀態(tài)：調(diào)節(jié)燈絲電流，避免不均勻發(fā)射 

使用自動(dòng)電子束校準(zhǔn)功能（如設(shè)備內(nèi)置 Gun Align 功能） 

(2) 電子束傾斜校正（Beam Tilt Correction）

在低倍率下觀察一塊均勻樣品（如金屬涂層） 

調(diào)節(jié)束流偏轉(zhuǎn)（Beam Shift），使電子束中心回到視野中央 

使用對(duì)中透鏡（Stigmator）優(yōu)化電子束形狀 

2. 透鏡與消像散校正

(3) 調(diào)節(jié)物鏡電流

電子束通過物鏡（Objective Lens）會(huì)因磁場(chǎng)不均導(dǎo)致偏移 

適當(dāng)調(diào)整物鏡電流，使束斑聚焦于樣品表面 

(4) 進(jìn)行像散校正（Stigmation Correction）

逐步增加放大倍率，觀察是否出現(xiàn)橢圓形光斑或條紋 

通過 SEM Stigmator X/Y 旋鈕調(diào)整，使電子束形狀均勻 

3. 充電效應(yīng)控制

(5) 處理帶電樣品

絕緣樣品可能因電子積累導(dǎo)致光束偏移，可采用： 降低加速電壓（減少電荷積累） 

噴金或碳涂層增加導(dǎo)電性 

使用低真空模式降低充電效應(yīng) 

4. 機(jī)械與環(huán)境因素優(yōu)化

(6) 確保樣品臺(tái)水平

樣品傾斜會(huì)影響電子束入射角，導(dǎo)致偏移 

檢查樣品高度（Working Distance, WD）是否正確 

(7) 穩(wěn)定實(shí)驗(yàn)室環(huán)境

避免振動(dòng)（如冷卻水泵、電梯、電機(jī)干擾） 

減少電磁干擾（使用防磁罩、遠(yuǎn)離大功率設(shè)備） 

5. 自動(dòng)校正功能

(8) 使用 SEM 內(nèi)置對(duì)準(zhǔn)功能

許多現(xiàn)代 SEM 具有**自動(dòng)束流對(duì)準(zhǔn)（Beam Alignment）功能 

可執(zhí)行自動(dòng)消像散（Auto Stigmation）減少人為誤差。

以上就是澤攸科技小編分享的如何校正掃描電鏡的光束偏移的介紹。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢15756003283(微信同號(hào))。