線性壓電納米位移臺MF40-25A，緊湊結(jié)構(gòu)支撐下的超大行程，軟件簡單易用，亞納米級別開環(huán)分變率，真空兼容可達10^-5Pa。支持定制納米位移臺。

不同于傳統(tǒng)的微米級別行程，納米位移臺擁有超大運動行程。大運動行程可以替代傳統(tǒng)的大范圍運動加不范圍補償?shù)倪\動方案，從而使設(shè)計 結(jié)構(gòu)更加緊湊，運動控制更加簡單。

納米位移臺配套操作簡單，隨時調(diào)整XY軸觀測位置，電子屏顯示，實時反饋數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)定位準確，且?guī)в懈呔燃案叻肿兟实奈恢梅答仭?/span>