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如何正確操作掃描電鏡的聚焦和對準功能

日期:2023-05-24

正確操作掃描電鏡的聚焦和對準功能是獲得清晰圖像的關鍵。下面是一些操作步驟和注意事項:

聚焦功能:

(1)確保電子束發射源(例如熱陰極或場發射陰極)處于正常工作狀態。

(2)啟動掃描電鏡并預熱一段時間,以使設備達到穩定工作狀態。

(3)調節聚焦控制器,使電子束的焦點盡可能小且集中。通常,聚焦控制器是一個旋鈕或按鈕,根據設備型號可能有不同的標識和操作方式。

(4)使用樣品中的明顯特征(如顆粒或邊緣)作為參考,逐漸調節聚焦控制器,直到獲得清晰的圖像。

對準功能:

(1)確保掃描電鏡的對準系統已經校準并處于工作狀態。

(2)確定要對準的特定區域或特征,并將其置于視野中心。

(3)使用對準控制器進行微調,移動樣品臺或激光束(如果設備配備了激光對準系統),以使特征在視野中居中。

(4)根據需要進行水平和垂直方向上的對準調整,確保樣品與電子束的準確對準。

注意事項:

(1)在進行聚焦和對準操作之前,確保樣品已經適當安裝并固定在樣品臺上,并且樣品臺水平調平。

(2)遵循設備制造商的操作手冊和建議,因為不同的掃描電鏡可能具有不同的控制器和對準方式。

(3)小心操作控制器,進行微調時逐步進行,避免過度調整造成過度聚焦或對準不準確。

(4)注意保持環境的穩定性,如避免振動或溫度變化,以確保對準的穩定性和準確性。

ZEM18臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技