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掃描電鏡如何應對非導電樣品的觀察

日期:2023-12-20

在掃描電鏡(SEM)中,觀察非導電樣品時會面臨電荷積聚、圖像漂移等問題。為了解決這些問題,可以采用一些特殊的樣品處理和技術手段。以下是一些常見的方法:

導電涂層:

對非導電樣品進行導電涂層是一種常見的方法。通過在樣品表面涂覆薄導電層,如金屬或碳,可以提高樣品的導電性,減少電荷積聚。這有助于在掃描電鏡中獲得更清晰的圖像。

金屬蒸鍍:

利用金屬蒸鍍設備對樣品進行金屬蒸鍍,形成薄導電金屬層。這種方法適用于小型樣品,如生物樣品、纖維等。金屬蒸鍍可以提供良好的導電性,同時保持樣品表面的形貌。

碳蒸鍍:

對樣品進行碳蒸鍍是另一種增加導電性的方法。碳薄膜可以在樣品表面形成均勻的導電層,適用于一些對金屬靈敏的樣品。

樣品制備技術:

優化樣品的制備技術,采用導電基底材料或導電膠水將非導電樣品固定在導電基底上。這樣可以改善樣品的導電性,并減輕電荷積聚的影響。

低電壓成像:

降低掃描電鏡的電子束能量,采用較低的加速電壓。較低的電子束能量有助于減小電荷積聚的影響,但也可能降低分辨率。

防靜電裝置:

使用防靜電設備,如防靜電棒、離子風機等,以減輕電荷積聚。這些設備可以在觀察過程中減小樣品表面的靜電電荷。

逐步掃描:

采用逐步掃描的方式進行觀察,減少電荷的累積。這意味著在不同區域進行逐步掃描,以減小電荷影響的積累。

ZEM20臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技