ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機采用自主研發的鎢燈絲電子槍，加速電壓在1-15kV范圍內連續可調，搭配二次電子探測器、背散射電子探測器、集成式oxford能譜儀，同時滿足形貌觀測及元素分析需求。其分辨率優于129eV（MnKα處），無需液氮冷卻。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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